Твердые растворы с мезоструктурой на основе арсенида-висмутида индия

Аннотация

Благин А.В., Благина Л.В., Нефедова Н.А.

Дата поступления статьи: 24.06.2020

В работе исследованы процессы жидкофазной эпитаксии нового материала инфракрасной оптоэлектроники – арсенида индия, легированного висмутом при использовании ступенчатого теплового поля. Проведен анализ равновесия фаз в процессе роста твердого раствора. Показана возможность формирования мезоструктуры (модуляции состава по координате роста). Рассмотрены проблемы дефектообразования в композитных слоях, выращенных из расплава. Обсуждаются пути уменьшения плотности дислокаций в градиентных слоях. Разработан относительно несложный способ управления тепловым полем температуры в зоне кристаллизации и новая технологическая процедура последовательной кристаллизации твердых растворов с мезоструктурой.

Ключевые слова: твердые растворы, жидкофазная эпитаксия, арсенид индия, мезоструктура, ступенчатое тепловое поле, генерация дислокаций

01.04.07 - Физика конденсированного состояния

.